加装飞秒激光系统的蔡司双束电镜Crossbeam Laser工作流程,LaserFIB工作流程助力您实现高分辨率成像和高通量分析。
一、自动导航到样品的感兴趣区域(ROI)
(资料图片)
无需耗时搜索感兴趣区域(ROI)即可开始工作流程
使用交换舱内的导航摄像头定位样本
集成的用户界面可以轻松导航到您的感兴趣区域 (ROI)
让您受益于SEM的大型、无失真视场
二、自动样品制备(ASP)可从大块样品中制备薄片
通过简单的三步流程开始制备
定义配方,包括漂移校正、沉积以及粗磨和细磨
FIB镜筒的离子光学器件可实现高通量工作流程
复制配方并根据要求重复操作,以开始批量制备
三、加工大量材料
绘制您的激光图案
曝光您的激光图案
以优于2um的目标精度快速去除大量材料
四、将样品传送到双束电镜主舱室,让您的双束电镜继续工作
已经能够观察到微结构细节
根据高分辨率成像的需要执行FIB抛光
使用新颖的工作流程创建TEM和原子探针样品
通过即时SEM反馈,快速优化激光方案
关键词: